《安安訪談錄》是界面財聯(lián)社執(zhí)行總裁徐安安出品的一檔深度訪談類欄目。從投資角度對話1000位行業(yè)領(lǐng)軍人物，覆蓋傳媒創(chuàng)新、VC/PE、信息服務(wù)、金融科技、交易體系、戰(zhàn)略新興等方向。

《科創(chuàng)板日報》 “連線創(chuàng)始人/CEO”欄目，主要關(guān)注創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)型企業(yè)，以企業(yè)創(chuàng)始人/CEO的訪談為一手信源，讓成長中的創(chuàng)業(yè)公司走入公眾和市場視野，并發(fā)掘最新技術(shù)和產(chǎn)業(yè)趨勢。

本期訪談人物：

陛通股份董事長宋維聰

“二手設(shè)備不能完全替代先進設(shè)備，我們從2021年起‘壯士斷腕’，全心投入國產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)和推廣?！?/p>

▍個人介紹

宋維聰，上海陛通半導(dǎo)體能源科技股份有限公司董事長，1991-1993年任美國富士通個人電腦公司工藝工程師，1993-2006年任全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備制造商之一應(yīng)用材料公司（AMAT）刻蝕產(chǎn)品部、CMP產(chǎn)品部和全球技術(shù)服務(wù)部商務(wù)總監(jiān)。2006年2月回國并創(chuàng)立了北京海微芯儀，擔(dān)任行政副總裁職務(wù)。2008年11月，在上海張江創(chuàng)立陛通，并擔(dān)任陛通的董事長、總經(jīng)理。

▍第一標(biāo)簽

海歸創(chuàng)業(yè)人 聚焦國產(chǎn)半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備的穩(wěn)步發(fā)展與升級

▍公司簡介

陛通股份成立于2008年，是一家由海外留學(xué)生回國創(chuàng)辦的集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的高端國產(chǎn)薄膜沉積設(shè)備企業(yè)。從2018年起，陛通股份確立要自主研發(fā)國產(chǎn)半導(dǎo)體薄膜設(shè)備的發(fā)展目標(biāo)和技術(shù)路徑。目前，陛通股份CVD和PVD產(chǎn)品已經(jīng)陸續(xù)進入國內(nèi)晶圓廠并完成了產(chǎn)業(yè)化驗證，是國內(nèi)為數(shù)不多能夠提供國產(chǎn)半導(dǎo)體整機裝備的企業(yè)之一。

《科創(chuàng)板日報》9月15日訊（記者 朱凌）2006年從硅谷回國的宋維聰見證了全球半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展。2013年，他創(chuàng)建陛通股份，從設(shè)備翻新創(chuàng)業(yè)起步，已逐漸成長為國產(chǎn)半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備的后起之秀。

陛通股份業(yè)務(wù)全面轉(zhuǎn)向國產(chǎn)設(shè)備研發(fā)的契機是什么？薄膜設(shè)備創(chuàng)新所需的自我造血能力是什么？近日，《科創(chuàng)板日報》記者就這些問題專訪了陛通股份董事長宋維聰。

談打法：差異化創(chuàng)新賦能薄膜設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展

薄膜沉積設(shè)備、光刻設(shè)備和刻蝕設(shè)備是芯片制造的三大核心設(shè)備，決定了芯片制造工藝的先進程度。薄膜沉積設(shè)備廣泛應(yīng)用于芯片制造過程中功能材料層的沉積，因此產(chǎn)生了巨大的市場需求。

拓荊科技在2023半年報中援引SEMI的數(shù)據(jù)寫道，2022年全球薄膜沉積設(shè)備市場規(guī)模達229億美元，結(jié)合中國大陸半導(dǎo)體制造設(shè)備銷售額占全球約為26%的份額測算，2022年中國大陸薄膜沉積設(shè)備市場規(guī)模約為60億美元，具有廣闊的市場空間。

作為后起之秀，陛通股份的發(fā)展定位是在薄膜設(shè)備領(lǐng)域（薄膜氣相沉積設(shè)備PVD、CVD、ALD）做“大”做“精”，然而在搶占市場份額方面，陛通股份既要面對來自國外設(shè)備巨頭如應(yīng)用材料、LAM、TEL、ASML的競爭，也要應(yīng)對國內(nèi)強大競爭對手，如北方華創(chuàng)、拓荊科技等公司的挑戰(zhàn)。

宋維聰認為：“盡管薄膜設(shè)備市場潛力巨大，但必須通過客戶驗證并實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化才算成功?？蛻敉ǔ８邮煜みM口設(shè)備，國產(chǎn)設(shè)備需要克服客戶的擔(dān)憂?！?/p>

他強調(diào)，“差異化創(chuàng)新 ”雖是取得成功的關(guān)鍵，但“落地性”更重要，需通過實驗室數(shù)據(jù)來證明創(chuàng)新的可行性和優(yōu)勢。并且，還必須要有一支擁有國際大廠培訓(xùn)和豐富經(jīng)驗的團隊。作為國內(nèi)較早一批海歸創(chuàng)業(yè)團隊之一，這樣的人才恰恰是陛通股份所具備的。

提及陛通“差異化創(chuàng)新”的最佳案例，宋維聰介紹了陛通股份CVD差異化核心創(chuàng)始人之一金小亮博士。他推出的全球發(fā)明專利“小亮旋轉(zhuǎn)”創(chuàng)新是基于CVD和PVD反應(yīng)腔和磁控濺射腔的成功應(yīng)用，”這項技術(shù)已經(jīng)用在了陛通股份多個產(chǎn)品上“。

陛通股份自主研發(fā)的旋轉(zhuǎn)技術(shù)是其薄膜沉積設(shè)備的一大核心創(chuàng)新與優(yōu)勢所在，傳統(tǒng)加熱技術(shù)在薄膜沉積過程中通常是靜止的，主要功能是提供恒定的溫度。與之相比，陛通股份的技術(shù)采用了旋轉(zhuǎn)方法，使襯底在360度范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)，這樣能夠更均勻地控制薄膜的沉積，而不僅僅是提供溫度?！靶×列D(zhuǎn)”創(chuàng)新解決了行業(yè)內(nèi)薄膜均勻性的關(guān)鍵難題，陛通股份提升了薄膜沉積領(lǐng)域的競爭優(yōu)勢。

談及公司未來產(chǎn)品占比，宋維聰表示，薄膜設(shè)備市場在不同技術(shù)節(jié)點下有不同的占比情況。在28納米制程中，PVD相對CVD的占比較小，在CVD中，PECVD的占比大于SACVD。從14納米工藝開始，ALD的應(yīng)用開始增多。未來隨著工藝進一步推進，ALD的市場份額可能會增加，尤其是在5納米和3納米制程中，ALD有望取代CVD和PVD。在此基礎(chǔ)上，他表示未來陛通股份在對標(biāo)薄膜設(shè)備的基礎(chǔ)上，PVD的占比規(guī)劃也將有所變化。

此外，宋維聰還提到了另外一個趨勢，“半導(dǎo)體設(shè)備制造正從單一設(shè)備制造轉(zhuǎn)向集成化發(fā)展，設(shè)備制造業(yè)正在向集成化方向發(fā)展，這就要求設(shè)備制造商能夠整合多種先進技術(shù)（如CVD、PVD、ALD等）在一個平臺上，以滿足客戶對新工藝和新器件的需求?！?/p>

談業(yè)務(wù)：從服務(wù)領(lǐng)域全面轉(zhuǎn)向國產(chǎn)設(shè)備研發(fā)

宋維聰在2006年從硅谷回國，其前后兩次創(chuàng)業(yè)都專攻國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備。第一次創(chuàng)業(yè)折戟后，2008年他從北京轉(zhuǎn)戰(zhàn)上海張江重新創(chuàng)業(yè)。

宋維聰告訴《科創(chuàng)板日報》記者：“陛通股份在2008年創(chuàng)建初期，由于受到資金限制，很難與中微公司、北方華創(chuàng)和拓荊科技等擁有明確目標(biāo)和充足資金的公司相競爭，因此我們只得從設(shè)備服務(wù)業(yè)起步?！?/p>

2013年，陛通股份涉足設(shè)備翻新領(lǐng)域，第一單翻新設(shè)備是為中芯國際提供的8英寸PECVD設(shè)備。正是得益于服務(wù)和翻新業(yè)務(wù)的盈利，陛通團隊熬過了艱難的早期階段，隨后逐步轉(zhuǎn)向自主研發(fā)設(shè)備的道路。

“二手設(shè)備對國家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)只是一個輔助手段，它不能完全替代先進的一些設(shè)備?！彼尉S聰介紹，考慮到長遠發(fā)展，公司做了一個壯士斷腕的決策。2021年起放棄國內(nèi)二手設(shè)備的市場份額和高額利潤，全心投入專注于國產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)和推廣。據(jù)悉，2023年陛通股份已經(jīng)完全不再做二手翻新，目前國產(chǎn)設(shè)備業(yè)務(wù)發(fā)展良好，市場占有率逐漸提高。

談及公司目前的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，宋維聰表示，陛通股份現(xiàn)在的國產(chǎn)設(shè)備涵蓋了多種類型，包括6、8英寸的PVD、12英寸的CVD（包括SACVD和PECVD），以及12英寸和6、8英寸的ALD。公司的主要產(chǎn)品結(jié)構(gòu)以6、8英寸的PVD為主，主要面向第三代半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體市場。此外，陛通股份還提供12英寸的PVD、CAD和LED設(shè)備，以滿足邏輯、功率、存儲等不同領(lǐng)域的需求。

談?wù)雇鹤叱龅凸群螽a(chǎn)業(yè)將迎來黃金三年

由于技術(shù)迭代快速、下游應(yīng)用不斷創(chuàng)新、終端需求波動等多重因素疊加宏觀經(jīng)濟波動的影響,半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展呈現(xiàn)周期性的起伏波動，但整體增長趨勢并未發(fā)生變化。

根據(jù)SEMI統(tǒng)計，2022年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額為283億美元，連續(xù)第三年成為全球最大半導(dǎo)體設(shè)備市場。在當(dāng)前全球半導(dǎo)體行業(yè)銷售放緩的情況下，預(yù)計2023年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額將降至225億美元，而2024年將恢復(fù)增長，預(yù)期增長至233億美元。

作為資深半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)人，宋維聰亦對國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)未來發(fā)展持樂觀的態(tài)度。他認為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的低迷是相對的，特別是考慮到中國政府對半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)的重視和不斷的支持。談及行業(yè)周期，他預(yù)測半導(dǎo)體行業(yè)將在2024年到2026年迎來黃金三年。

陛通股份目前雖未涉足光刻設(shè)備，但宋維聰認為，在目前設(shè)備條件下，中國仍然具備推動芯片工藝升級的技術(shù)實力。

除了肯定中國半導(dǎo)體行業(yè)的良好發(fā)展勢頭，宋維聰還向《科創(chuàng)板日報》記者透露，陛通股份正在積極準(zhǔn)備科創(chuàng)板上市，計劃持續(xù)擴大薄膜設(shè)備業(yè)務(wù)，深入發(fā)展三大核心裝備。目前來看，陛通股份具備明年申報條件。